溶胶-凝胶法制备薄膜时溶剂的选择
【出 处】：
BST薄膜
溶胶-凝胶法
溶剂
【作 者】：
饶伟
[1,2] ;
李定国
[1] ;
王耘波
[3] ;
王叶安
[3] ;
于军
[2]
【摘 要】以异丙醇、乙二醇、乙二醇甲醚和乙二醇乙醚4种有机物作为溶剂，采用溶胶-凝胶工艺在Si衬底上制备了钛酸锶钡（BST ）薄膜。利用分光光度计、XRD、SEM等手段对不同溶剂溶胶的透光率和BST薄膜的结构、形貌进行了表征，从溶胶-凝胶转变速度和制备的薄膜结晶质量等方面研究了溶剂对溶胶-凝胶法制备薄膜的影响。研究结果表明：用乙二醇乙醚为溶剂，经过1～3 d陈化后，BS T 薄膜质量较好；在溶胶-凝胶法制备薄膜中，选用黏度小、沸点高、蒸发热大的溶剂有利于形成致密度较高的薄膜。
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